プラズマ発生装置及びそれを用いたプラズマ生成方法に関し、特に、大気中においてマイクロ波によるプラズマを生成することを可能とするプラズマ発生装置及びそれを用いたプラズマ生成方法に関する。

プラズマ点火前後のキャビティ内のインピーダンス変化が少ない上、キャビティの形状に影響され難く、プラズマの着火性を改善したプラズマ発生装置及びそれを用いたプラズマ生成方法を実現できる。

プラズマ生成用のガスを導入し、大気中に排出する非導電性のガス流路管と、該ガス流路管を取り巻く導電性のアンテナ管とを有し、該アンテナ管にマイクロ波を照射し、該ガス流動管中のガスをプラズマ化する本発明のプラズマ発生装置は、マイクロ波発生器から発生したマイクロ波を伝播させると共に、断面形状が長方形の空間を有する導波管と、該導波管の一部で、該導波管を形成する対向面を貫通するように、該アンテナ管を配置し、該導波管内に位置する該アンテナ管には、該ガス流路管の管軸方向に沿ってスリットが形成されている。
このアンテナ管に設けられたスリットにより、励起電界をスリット部分に集中させ、ガス流路管内を通過するガスを、スリット部分で効率的にプラズマ化することが可能になり、励起電界はプラズマ点火前後においても、常にスリット部分で生じるため、従来のようにプラズマ点火前後におけるインピーダンスの変化も制御できる。

特許第5239021号